干泵

干泵（Dry Pump）是一种无油湿度泵，通过机械振动和压缩空气的方式将气体排出。它在多个工业领域中有着广泛的应用，尤其在半导体、太阳能和高真空领域中。

干泵的工作原理基于泵腔容积的周期性变化。在泵的工作过程中，泵腔容积会不断地由大变小再由小变大，通过气体通道的启闭作用实现抽气。由于采用了拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可以随气体一起排出泵外。

干泵具有许多优点。首先，它不需要油液、滤芯等维护部件，因此维护成本较低。其次，干泵的排气速度高，可以达到与油泵相同的真空度，因此其性能高效。此外，干泵无油、无水、无污染的特点使其在各个领域中得到了广泛应用。